2000年6月12日，國家科技部組織，“96-748sensor技術(shù)研究”國家重點科技攻關(guān)計劃項目驗收。與會專家聽取了項目實施小組”項目實施情況自我評估報告”，“96-748sensor技術(shù)研究”，經(jīng)過3年的研究已成功地完成了國家重點工程的目標(biāo)，評價的目標(biāo)和研究內(nèi)容。項目總investment66423700元資金，國家撥款25000000元?？萍纪度肴藛T468人左右。通過3年的研究，共有內(nèi)建測試生產(chǎn)線12條，其中工程任務(wù)完成的試生產(chǎn)線9條，新產(chǎn)品開發(fā)項目完成的試生產(chǎn)線3條，making18品種75個規(guī)格的新產(chǎn)品，形成一定規(guī)模的中試生產(chǎn)；通過開發(fā)新產(chǎn)品，發(fā)展。力傳感器，磁傳感器，溫度傳感器，壓力變送器，濕度的敏感性5186種規(guī)格的新產(chǎn)品，90%項成果被大眾或小批量生產(chǎn)，供應(yīng)市場。傳感器關(guān)鍵共性技術(shù)，包括計算機輔助設(shè)計技術(shù)，關(guān)鍵技術(shù)，微機電系統(tǒng)技術(shù)，可靠性技術(shù)應(yīng)用于生產(chǎn)，研究產(chǎn)品的良率普遍提高10%以上，提高可靠性水平of1-2等級，建立傳感器實驗室，測試方式；據(jù)不*統(tǒng)計，research3年累計銷售各類傳感器約12600000，實現(xiàn)銷售收入144180000元，achieve59科學(xué)研究成果，整個九十年代中期水平達到*水平。獲得國家32項（其中獲得和受理發(fā)明11項），在國內(nèi)外各類期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文和研究報告244，轉(zhuǎn)讓知識，取得較好的效果。
“九五”傳感器技術(shù)的指導(dǎo)思想是：目標(biāo)是提高技術(shù)水平的可靠性水平傳感器，和工業(yè)化程度。2變化是提高企業(yè)技術(shù)進步變化的變化，提高*。三個組合的共性、關(guān)鍵技術(shù)和應(yīng)用技術(shù)，加快產(chǎn)業(yè)化進程；典型的產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)品系列組合；滿足市場需要；研究開發(fā)和成果的工程結(jié)合，實現(xiàn)適度規(guī)模生產(chǎn)。
通過研究，傳感器，關(guān)鍵制造技術(shù)的新產(chǎn)品開發(fā)，科技成果的工程方面的改善我們的傳感器技術(shù)水平，促進中國傳感器行業(yè)的形成，縮小了與*水平的差距。
2技術(shù)，擁有多項自主知識產(chǎn)權(quán)的結(jié)果
通過研究，創(chuàng)新技術(shù)，擁有多項自主知識產(chǎn)權(quán)的科技成就，主要：
（1）本發(fā)明的復(fù)旦大學(xué)面具-無掩?？涛g過程的倡議。不僅在實驗上取得的脹形外觀[ 311 ]基本規(guī)律，理論推導(dǎo)出新的條件和新的底部，底部的深度和位置的公式，建立了腐蝕技術(shù)制造微結(jié)構(gòu)新技術(shù)。使用氫氧化鉀腐蝕溶液對不同晶體表面腐蝕速率的差異，在理論和技術(shù)解決用口罩，形成一個三維多層微機械結(jié)構(gòu)技術(shù)，多層結(jié)構(gòu)層差控制精度在4/米，轉(zhuǎn)移面平面度優(yōu)于1/商標(biāo)，接受一個發(fā)明。
 （2）清華大學(xué)開發(fā)了一種基于石英諧振力和應(yīng)變敏感性影響數(shù)字稱重傳感器。研究的敏感元件的力敏特性，諧振器可以在效應(yīng)和共振頻率，諧振頻率和結(jié)構(gòu)的關(guān)系，確保良好的頻率穩(wěn)定性。研究開發(fā)了一種特殊的粘合劑，解決影響傳感器蠕變和磁滯特性的關(guān)鍵技術(shù)，提高傳感器的性能指標(biāo)及產(chǎn)量。在*個在國內(nèi)和國外發(fā)展一系列的下游應(yīng)用——各種石英電子衡器。has6實用新型，一項發(fā)明，受理發(fā)明4。
哈爾濱理工大學(xué)（3）成功開發(fā)了“新的內(nèi)在的半導(dǎo)電聚合物壓力-溫度參數(shù)傳感器”，合成聚省醌自由基聚合物，這是一種壓力系數(shù)和溫度系數(shù)的高分子材料，材料表面處理技術(shù)解決了高溫傳感器油制成的威爾斯，潛水泵壓力和溫度測量的難題。經(jīng)過檢索表明，新的內(nèi)在的聚合物壓力-溫度參數(shù)傳感器的倡議，受理發(fā)明。
（4）沈陽儀器儀表工藝研究所中國*時間解決擴散硅力敏芯片溫度自補償技術(shù)。通過調(diào)整工藝參數(shù)平面摻雜工藝，實現(xiàn)了在-30-80c寬溫區(qū)，*傳感芯片靈敏度溫度漂移控制在5%，實現(xiàn)了擴散硅力敏芯片的靈敏度溫度自補償。
（5）沈陽儀器儀表研究所技術(shù)開發(fā)高靈敏銻化銦薄膜的制備技術(shù)，解決了高密度，高磁導(dǎo)率鐵氧體基片拋光技術(shù)，在蒸發(fā)過程中，銻元素，敏感層磨漿減薄過程和提高芯片的靈敏度的摻雜工藝，研制的銻化銦薄膜完滿足制備高性能的磁性組件需要。獲得的發(fā)明和實用新型。
3發(fā)展，使一批市場急需的傳感器實現(xiàn)批量生產(chǎn)
“九五”國家科技市場急需的傳感器，該傳感器新產(chǎn)品進行了研究和發(fā)展工程。通過國家支持，單位自籌，成果轉(zhuǎn)讓，技術(shù)入股等方式，建立了十二試驗生產(chǎn)線，使一批科技含量高的新型傳感器產(chǎn)品實現(xiàn)適度規(guī)模的中試生產(chǎn)，主要有：
（1）擴散硅壓力傳感器實現(xiàn)3kpa ~60 MPa各種品種和規(guī)格的生產(chǎn)，產(chǎn)品有：工業(yè)變送器壓力傳感器，壓力傳感器的多功能智能變送器，包裝和填充結(jié)構(gòu)通用壓力傳感器。產(chǎn)品性能指標(biāo)，包括短期穩(wěn)定，長期穩(wěn)定，可靠性達到了國外同類產(chǎn)品的水平，開始批量供應(yīng)市場?？梢哉f，通過研究，沈陽儀器儀表學(xué)會技術(shù)擴散硅傳感器制造技術(shù)已經(jīng)成熟。并在國內(nèi)實現(xiàn)了微機械加工技術(shù)，批量生產(chǎn)各種型號的擴散硅壓力傳感器。
  （2）石英諧振式稱重傳感器是在清華大學(xué)，并成功開發(fā)各種電子weighing1~15公斤。投資16680000元，在深圳成立深圳清華傳感器設(shè)備有限公司，承接批量試生產(chǎn)，建成年產(chǎn)1000000石英諧振式稱重傳感器和2個00000電子衡器中試生產(chǎn)線，產(chǎn)品大部分出口國外，2000only香港大哥大表示和已知成分為8美元的0000002000is預(yù)計將達到30000000元的銷售收入。獲得11patents發(fā)明和實用新型。
（3）華中科技大學(xué)研制成功的高壓力和低電壓系列4個品種的過載保護器，并以技術(shù)入股的方式（25%），在武漢武漢高新技術(shù)開發(fā)區(qū)成立湖北幫助傳感器公司，investment9800000元，建成年產(chǎn)20000000條生產(chǎn)線，后完成的產(chǎn)值將達到50000000元素。同時，科技公司在上海和0000000的中試生產(chǎn)，產(chǎn)品主要用于程控交換機和電機過載保護。
（4）中國科學(xué)院新疆物理研究所研制的小型及微型熱敏電阻的一致性，可靠性和性能價格比和韓國，日本的產(chǎn)品，在家電和糧食產(chǎn)業(yè)占有較大的*。新疆公司建造的小型和微型熱敏傳感器的中試生產(chǎn)線，1999sales卷00000。
（5）霍爾銻化銦元件通過“八五”和“九五”科技攻關(guān)，解決芯片從生產(chǎn)到包裝等一系列關(guān)鍵技術(shù)，打破朝日化學(xué)公司技術(shù)壟斷，實現(xiàn)了銻化銦霍爾組成部分的批量生產(chǎn)，產(chǎn)品的性能達到朝日公司化工產(chǎn)品水平，并在沈陽儀器儀表工藝研究所與南京的微電子公司生產(chǎn)，zui近南京的微電子公司將與中國臺灣公司合資，擴大規(guī)模，zui終建成年產(chǎn)100000000的生產(chǎn)能力。
（6）中科院合肥智能機械研究所，發(fā)展厚膜壓力傳感器，通過工程研究，在南京的微電子公司建成了年產(chǎn)50000thick薄膜壓力傳感器的中試生產(chǎn)線，壓力范圍為0.02~40 MPa，產(chǎn)品在工業(yè)控制領(lǐng)域的應(yīng)用。
（7）的ct-fe203gas傳感器及*報警器，信息部industry49and大慶泰科傳感器公司，建成年產(chǎn)1000000條生產(chǎn)線，并通過了iso-9001quality體系認證。在家用電器和環(huán)保行業(yè)的應(yīng)用。
（8）在高溫壓力傳感器，開發(fā)二氧化硅，多晶硅，碳化硅三高溫壓力傳感器。硅壓阻式壓力傳感器的工作溫度范圍從-30to0.80擴大to22013for油井，高溫壓力測量。在油田使用，三種高溫壓力傳感器性能良好，并遠銷國外。
（9）高溫硅霍爾綜合交換，使硅集成霍爾開關(guān)的zui大操作溫度120 c增加到15013個，并在南京的微電子公司生產(chǎn)，每一個約100000的力量應(yīng)用到車輛點火，良好的結(jié)果。
（10）與低功耗和低濃度的一氧化碳，撒謊，n02gas傳感器的研制成功，在環(huán)境保護領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，長春應(yīng)用化學(xué)研究所，中國科學(xué)院的科技成果，已轉(zhuǎn)移到中國臺灣茂發(fā)科技公司，生產(chǎn)。
4common和關(guān)鍵技術(shù)，提高了傳感器的行業(yè)的技術(shù)水平
  “九義”狀態(tài)傳感器技術(shù)，關(guān)鍵技術(shù)，主要解決了傳感器應(yīng)用技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)，制造技術(shù)，微機電系統(tǒng)技術(shù)和可靠性技術(shù)研究，并在傳感器生產(chǎn)中得到應(yīng)用和推廣。
（1）傳感器的計算機輔助設(shè)計技術(shù)應(yīng)用研究擴散硅壓力傳感器，壓力傳感器，壓力傳感器，加速度傳感器的功能，霍爾磁傳感器和應(yīng)變傳感器實現(xiàn)計算機輔助設(shè)計。從應(yīng)力分析，布局設(shè)計，結(jié)構(gòu)分析，設(shè)計圖紙的計算機。設(shè)計結(jié)果在生產(chǎn)線已通過實驗驗證，總符合率reach80%。力敏器件平面工藝進行計算機模擬，確定了在平面技術(shù)擴散，離子注入，氧化，擴散和其他制造過程計算機仿真程序。該傳感器是提高設(shè)計水平和新產(chǎn)品開發(fā)能力。
（2）“4擴散硅芯片生產(chǎn)技術(shù)的研究在國內(nèi)實施擴散硅傳感器4“晶圓生產(chǎn)過程中，通過調(diào)整工藝參數(shù)，使硅壓阻傳感器靈敏度溫度漂移in30-80c總區(qū)的溫度控制在0.5%財政司司長，實現(xiàn)了靈敏度溫度漂移補償免費。研究業(yè)績的穩(wěn)定性參數(shù)通過傳感器，該傳感器100 h短期穩(wěn)定確保長期穩(wěn)定的of5ttv，0.2%財政司司長，達到國外同類產(chǎn)品的先進水平。批量生產(chǎn)進行“硅壓阻硅芯片，管芯面積zui小的1.2倍1.2（毫米），合格率85%。
（3）銻化銦薄膜技術(shù)解決使用中，銻元素蒸發(fā)過程，磁性及非磁性基板代替銻化銦單晶沉積多晶薄膜生產(chǎn)技術(shù)，降低成本，提高成品率。同時采用選擇性濕蝕刻工藝，特別是insb-au歐姆接觸層的選擇性蝕刻工藝制造的電極。收益率超過60%。銻化銦薄膜開發(fā)了3個品種規(guī)格的13insb霍爾元素，并批量生產(chǎn)。
（4）在一個新的氣體濕度超細粉的發(fā)展，通過研究，開發(fā)zr02-y20，濕度敏感材料及固體電解質(zhì)材料，這些材料的應(yīng)用，開發(fā)了400高溫濕度傳感器和一個平面內(nèi)加熱二氧化碳氣體傳感器。
（5）化學(xué)腐蝕，電化學(xué)腐蝕，硅硅鍵合微加212/ 12藝術(shù)在傳感器生產(chǎn)中的應(yīng)用。成功應(yīng)用of10kpa -60 MPa傳感器的批量生產(chǎn)，腐蝕的硅膜zui小厚度為10/商標(biāo)，精度控制在10%。目前，沈陽儀器儀表研究所技術(shù)擴散硅壓力傳感器的敏感膜片精密化學(xué)腐蝕，大型的靜電鍵合，硅鍵合工藝。腐蝕和密封技術(shù)的產(chǎn)量達到75%。*次在中國的擴散硅壓力傳感器微機械加工的藝術(shù)生產(chǎn)。
（6）通過傳感器完成可靠性技術(shù)研究，集成傳感器的壓力測試，制定了全面的壓力測試技術(shù)規(guī)范，正溫度系數(shù)，熱敏電阻，擴散硅壓力傳感器的元素，霍爾可靠性試驗的時間從1年到2個月~，可靠性試驗技術(shù)的改進。通過可靠性增長技術(shù)的研究，使企業(yè)生產(chǎn)dl93，sg75擴散硅壓力傳感器，石英諧振式稱重傳感器，熱敏電阻，熱敏電阻熱敏電阻元件，-霍爾，a-fe203氣體傳感器，濕度傳感器，廉價的可靠性指標(biāo)提高1——2orders級。
該5ending
可以看出，“九五”傳感器技術(shù)，以市場需求為導(dǎo)向，經(jīng)濟建設(shè)的需要，提高我國傳感器技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化程度有了更大的成就，對科技成果產(chǎn)業(yè)化的孵化作用，促進了我國傳感器，提高技術(shù)水平，加快產(chǎn)業(yè)化的科學(xué)成果技術(shù)的過程中。
第二十一世紀(jì)，人類進入了電子信息時代。敏感元件與傳感器的關(guān)鍵部件為基礎(chǔ)的信息系統(tǒng)。微電子和微機械加工等先進制造技術(shù)的使用，使傳感器技術(shù)的飛速發(fā)展。與傳統(tǒng)的傳感器相比，新一代的敏感元件與傳感器的突出特征是數(shù)字化，智能化，陣列，微和微系統(tǒng)。隨著現(xiàn)代信息技術(shù)的三大核心技術(shù)之一，傳感器技術(shù)，將是第二十一個世紀(jì)人們在科學(xué)和技術(shù)發(fā)展的制高點。因此，我們必須重視發(fā)展傳感器技術(shù)，加快產(chǎn)業(yè)化進程。